Minimal Imprint Device - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

【半導体製造装置関連】ミニマルインプリント装置

モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置

・表裏アライメントマーク用光学系500万画素カメラ。 ・オリフラ用光学系200万画素カメラ。 ・XYZアライメント軸分解機能0.1µ。 ・θ軸分解機能8秒。

• Company：ライズワン
• Price：Other

• Other semiconductor manufacturing equipment